福岡大学研究者情報

    ■ 理学部  物理科学科  教授 

    香野 淳  (コウノ アツシ)

     

    [ 研究分野 ]
    • 薄膜の構造と物性
    • 強誘電体薄膜、薄膜の構造物性と電気特性、物性制御、薄膜評価手法の開発
    • X線反射・X線回折による薄膜・界面・ナノ構造の計測と構造評価
    • レーザー溶融法を用いた物性制御技術の研究
    • レーザ溶融を用いたシリコン中の不純物過飽和状態の制御と新規物性開拓
    • シリコン系ナノ結晶の物性評価とメモリデバイスへの応用

    研究シーズ

    データ更新日  :  2019年11月12日

    詳細な研究シーズ 詳細な研究シーズ ( 453kb )
    研究テーマ
    1. 薄膜の電子物性・構造物性とその物性制御に関する研究および電子デバイスの開発
      • 応用分野
      • 半導体メモリーデバイス、薄膜の電気計測、薄膜材料の開発と分析、薄膜構造評価
    2. ナノ構造物質の電子物性・構造物性とその物性制御に関する研究および電子デバイスの開発
      研究分野
      • 物性物理学、半導体材料工学
      研究概要
      • 薄膜は半導体電子素子、光学素子、各種保護材などとして幅広く用いられており、その形成技術と材料物性の精密な制御はますます重要になっている。また、物質の大きさをナノメートルスケールで制御することにより材料の高機能化が期待できる。さらに、半導体ナノ構造を用いることにより、少数の電子を制御する電子デバイスや量子力学的効果を利用した新しい機能デバイスが実現できると期待されている。我々の研究室では、薄膜やナノ構造で顕著になる物理現象を研究するとともに、その評価技術、制御技術の研究開発を行っている。材料の特性を解明し制御するため、結晶性の薄膜の構造(結晶構造、原子配列、密度分布、ラフネス)、薄膜やナノ構造物質の原子結合状態や電子状態の計測を行うとともに、それらとマクロな電気特性との関係を調べている。また、薄膜やナノ構造物質では、それらと接する物質との界面の状態が物性に大きな影響を及ぼすため、界面の分析、制御が重要となる。そのため、界面の構造、電子状態と物性の研究にも取り組んでいる。主な物性測定技術としては、斜入射X線回折、X線反射率解析、X線・紫外線光電子分光、赤外・遠赤外分光分析、C-V測定、I-V測定がある。最近、X線反射率解析の薄膜形成プロセス管理への利用を目指して、迅速な解析手法の研究開発に取り組んでいる。
      キーワード
      • 薄膜、ナノ材料、半導体電子デバイス、物性計測技術、材料の構造評価、結合状態分析、
      • 電子状態分析
      技術相談・コンサルティングに応じられる分野
      • 薄膜形成、薄膜の構造分析、電子状態分析、ナノクリスタルの物性計測
      共同研究可能なテーマ
      • 薄膜構造評価、薄膜を用いた高機能電子デバイスの開発、ナノ構造の形成とメモリーデバイスの研究開発
      利用可能な研究装置・資料等
      • 斜入射X線回折装置、X線反射率測定装置、X線・紫外線光電子分光装置、遠赤外・赤外顕微分光装置、電気特性測定装置(C-V, I-V, quasi C-V)、クリーンブース、均温熱処理装置(2インチ、?1000℃)、赤外線加熱炉(高速熱処理)装置の写真などはホームページを参照して下さい。
      地域における社会活動
      • 応用物理学会・福岡市教育委員会主催リフレッシュ理科教室

      ページの先頭に戻る