福岡大学研究者情報

■ 理学部物理科学科教授: 香野　淳 (コウノ　アツシ)

[ 研究分野 ]

薄膜の構造と物性
強誘電体薄膜、薄膜の構造物性と電気特性、物性制御、薄膜評価手法の開発
X線反射・X線回折による薄膜・界面・ナノ構造の計測と構造評価
レーザー溶融法を用いた物性制御技術の研究
レーザ溶融を用いたシリコン中の不純物過飽和状態の制御と新規物性開拓
シリコン系ナノ結晶の物性評価とメモリデバイスへの応用

プロフィール

データ更新日 : 2019年11月12日

学位	博士（理学）（九州大学）理学修士（1996年九州大学）
研究テーマ	強誘電体薄膜の物性研究シンクロトロン光を用いた薄膜・界面の構造解析と材料評価への応用サイズおよび配列制御された誘電体ナノ構造の形成に関する研究シリコン量子ドットを用いたメモリデバイスの研究開発レーザーメルティング法（レーザー溶融法）を用いた不純物過飽和シリコンの物性規則配列ナノ細孔構造薄膜の形成および薄膜細孔中へのナノ粒子の形成強誘電体ナノドットの物性とナノドット素子の研究開発
研究業績	業績一覧（著書・発表論文・学会発表・その他業績）
共同・受託研究希望テーマ	薄膜の構造ならびに界面構造の研究とそのデバイス応用薄膜特性の精密分析技術の開発レーザー溶融法による物性制御とシリコンへの新規機能付与に関する研究薄膜の構造評価技術の開発（膜厚、膜密度、粗さ、膜質、元素組成、化学結合状態） PETフィルム等のフレキシブル基板上の薄膜の評価およびフレキシブル基板上の薄膜素子の研究開発
所属学協会	応用物理学会日本物理学会日本結晶学会 Materials Reserch Society of Japan
関連情報	研究シーズ情報福岡大学図書館蔵書検索
メールアドレス	メールアドレス
ホームページ	http://www.sp.fukuoka-u.ac.jp/section/crystal/kohno/kohnohome.html

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